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          三氟化氮
          发布时间:2016/6/28 10:05:10   浏览次数:4266次 
              三氟化氮是我所依托军工技术开发成功的军转民产品,自1979年开始研制,已有四十多年的研发生产经验。NF3是重要的清洗刻蚀气体,在半导体和液晶行业有广泛的应用。特气工程部现已建成1350t/a的高纯(99.999%)NF3生产线,拥有自主知识产权,产生了良好的社会效益和经济效益。我所生产的NF3产品已供给几乎国内所有的半导体生产厂及大部分液晶面板厂商,同时销往台湾、日本、新加坡、欧洲及美国等地。
              气体标识 
              名称:nitrogen trifluoride 分子式:NF3 
              气体物化特性 

          分子量

          熔点

          沸点

          临界温度

          临界压力

          液体密度

          气体密度

          水中溶解度

          CAS

          危险性类别

          71.01

          -206.8(1atm)

          -129(1atm)

          -39.3

          44.02atm(4.46MPa)

          1554kg/m3(1atm沸点时)

          2.95kg/m3(1atm 21

          1.43*10-5当量浓度(1atm,22)

          7783-54-2

          2.3类有毒气体在空气中的最高允许含量为29mg/m3

              包装规格
              Cylinder(47L)、Bundle(16×47L)、Bundle(25×47L)、Y-Cylinder(470L)、ISO等

          钢瓶容积

          钢瓶型号

          阀门

          钢瓶压力

          气体质量

          危规号

          UN编号

          包装分类

          包装标志

          47L、43.3L、40L、8L

          DOT-3AA、GB5099

          CGA330、CGA640

          9.0-13.0MPa

          22kg、20kg、3.4kg

          23016

          2451

          6

              储存及运输 
              三氟化氮气瓶应储存于阴凉、通风仓库内。三氟化氮气瓶应远离火种、热源、防止阳光直射,与还原剂、易燃或可燃物等分开存放。 
              三氟化氮气瓶在搬运时要轻装、轻卸,防止钢瓶及附件破损。 
              三氟化氮气瓶的运输按危险品运输。运输时用气瓶固定架将三氟化氮气瓶固定好,用汽车公路运输或用轮船集装箱运输。 
              泄漏应急处理 
              如遇有三氟化氮气体泄露,工作人员要马上撤离泄漏污染区,并尽可能采取措施阻止三氟化氮气体的进一步泄露。如有工作人员中毒,应立即送往医院救治。 
              泄露现场要尽快处理,处理泄露现场的工作人员必须配戴必要的防毒面具,最好是自给正压式呼吸器。泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员,泄露容器必须经仔细检查、维修或妥善处理好后方可继续使用。 
              三氟化氮气体产品质量标准(Q/718J58-2007) 

          杂质

          NF3≥99.995% Vol.%

          NF3≥99.99% Vol.%

          NF3≥99.98% Vol.%

          NF3≥99.9% Vol.%

          CF4

          ≤20 Vol.ppm

          ≤40 Vol.ppm

          ≤100 Vol.ppm

          ≤500 Vol.ppm

          N2

          ≤5 Vol.ppm

          ≤5 Vol.ppm

          ≤10 Vol.ppm

          ≤50 Vol.ppm

          O2+Ar

          ≤3 Vol.ppm

          ≤5 Vol.ppm

          ≤10 Vol.ppm

          ≤50 Vol.ppm

          CO2

          ≤1 Vol.ppm

          ≤5 Vol.ppm

          ≤10 Vol.ppm

          ≤10 Vol.ppm

          H2O

          ≤1 Vol.ppm

          ≤1 Vol.ppm

          ≤1 Vol.ppm

          ≤1 Vol.ppm

          酸份(HF)

          ≤1 Vol.ppm

          ≤1 Vol.ppm

          ≤1 Vol.ppm

          ≤1 Vol.ppm

          SF6

          ≤1 Vol.ppm

          ≤2 Vol.ppm

          ≤2 Vol.ppm

          ≤25 Vol.ppm

          N2O

          ≤1 Vol.ppm

          ≤5 Vol.ppm

          ≤10 Vol.ppm

          ≤10 Vol.ppm

          CO

          ≤0.5 Vol.ppm

          ≤5 Vol.ppm

          ≤10 Vol.ppm

          ≤10 Vol.ppm





                  ISO托管车                             Y Cylinder Y瓶                       Bundle 瓶组:4*4、5*5              




          三氟化氮车间


             联系方式:销售部 0310-7182720,0310-7184723


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