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          半导体工业废气处理净化材料及装置
          发布时间:2016/7/2 10:22:33   浏览次数:3167次 
              主要净化全氟烃(如CF4、C2F6、C3F8、NF3等)、以及氢氟烃(如CHF3、CH3F)化合物,用于半导体行业蚀刻工艺和清洗工艺等的废气净化。

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