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          多晶硅(三氯氢硅)尾气分离提纯装置
          发布时间:2016/6/28 15:44:54   浏览次数:2773次 


                 工艺原理:
                 多晶硅副产的尾气中含有氢气、氯化氢、三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅等组份,通过加压后,经过单级或多级变压吸附可将各组份进行分离提纯,以达到循环使用的目的。
          技术特点:
                  1、根据实际工况,设计合理的生产工艺结构,全过程无泄漏,无腐蚀。
                  2、选用优质程控阀,可靠性高。
                  3、自动化程度高,无人值守。
                  4、可靠的安全性设计,确保操作和运行安全。
                  5、设备集成度高,精致美观。
                  技术指标:
                  各组份气量、纯度需根据实际情况进行专项设计。
                  联系方式:销售部 0310-5105770,0310-5105771

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